top of page
Вакуумные установки и камеры фон

ПРОЕКТИРОВАНИЕ И ИЗГОТОВЛЕНИЕ ВАКУУМНЫХ КАМЕР И ГОТОВЫХ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ

Мы имеем многолетний опыт не только производства вакуумного оборудования, но и его эксплуатации, что позволяет нам создавать установки лишенные недостатков типовых конструкций

ПРОИЗВОДСТВО ВАКУУМНЫХ КАМЕР

Базовые параметры для заказа вакуумной камеры:

Форма камеры:

  • цилиндрическая

  • призматическая

  • D-образная

  • сферическая

Степень вакуума:

  • средний (< 10⁻³ Торр)

  • высокий (< 10⁻⁸ Торр)

  • сверхвысокий (< 10⁻¹⁴ Торр)

Материал камеры:

  • нержавеющая сталь 304L/316L

  • алюминий

  • иные материалы по запросу

Лаборатория вакуумного оборудования является производителем вакуумных камер и готовых установок, проектируемых и изготавливаемых по спецзаказу, для промышленного и научного применения. Большой опыт работы и выпуск готовой продукции на собственном вакуумном оборудовании позволяет нашим инженерам обеспечить наилучшие конструктивные и технологические решения производимых нами вакуумных систем. Наши специалисты готовы помочь Вам с определением концепции камеры, конструктивными особенностями, проектированием и применением.

Производство вакуумных камер

Наши вакуумные камеры могут быть оснащены функциональным оборудованием собственного производства или стандартными решениями других производителей, на усмотрение заказчика. Наш производственный центр позволяет изготавливать высококачественные нестандартные компоненты для комплектации вакуумных камер функциональными и технологическими элементами, аксессуарами, переходниками. Возможно изготовление камер рассчитанных в том числе и на избыточное внутреннее давление, а также в химически или термически стойком исполнении.

Опциональные компоненты вакуумных камер:

Терморегулирование:

  • рубашка нагрева/охлаждения корпуса камеры

  • система нагрева подложек в вакууме (до 500 °C) с обратной связью

Технологическое оснащение:

  • силовые и высоковольтные электрические вводы

  • смотровые окна

  • люки, двери и крышки

  • несущие конструкции

  • встроенное освещение

Функциональные элементы:

  • высоковакуумные вводы вращения

  • системы вращения подложек

  • устройства ионной чистки

СОВРЕМЕННОЕ ПРОИЗВОДСТВО

Наш производственный центр позволяет проводить полный цикл технологических операций по изготовлению вакуумного оборудования

Фон Механическая обработка

Высококачественная механическая обработка

Наше оборудование позволяет проводить сложные токарные, фрезерные, слесарные и листогибочные операции с малыми допусками, обеспечивая высокое качество поверхности.

Вакуумплотная сварка стали и цветных металлов

Сварные соединения  выполняются опытными специалистами, методом сварки вольфрамовым электродом в среде инертного газа, с использованием аргона высокой чистоты.

Фон Вакуумная сварка

Наше производство позволяет обеспечивать точное соответствие заданных допусков при изготовлении ответственных деталей. При механической обработке обеспечивается качество до 12 класса чистоты поверхности.

При выполнении сварных соединений везде, где это возможно, используются внутренние сварные соединения. В тех случаях, когда геометрия изделия исключает возможность применения внутренних сварных швов, обеспечивается внешний сварной шов с полным проплавлением. Чтобы свести к минимуму источники виртуальных утечек, внешние сварные швы используются только тогда, когда это необходимо для усиления конструкции, и ограничиваются конфигурациями стежка, пролета или точечной сварки.

СТРОГИЙ КОНТРОЛЬ КАЧЕСТВА

Фон проведение расчетов

  • Прочностные расчеты надежности конструкции

  • Контроль соответствия размеров

  • Контроль очистки компонентов после обработки

  • Проверка герметичности методом гелиевой течи

  • Анализ остаточных газов (RGA)

  • Контроль предельного давления

  • Оценка газонатекания

Фон Проверка герметичности

Перед изготовлением любая вакуумная камера и ее компоненты проходят этап расчета на прочность, как для конструкций разработанных нашими инженерами, так и для заказов по чертежам заказчика. После изготовления камеры отправляются на проверку, подтверждающую их соответствие чертежу. Вакуумные камеры проходят полный цикл испытаний на герметичность. Возможно проведение пробных техпроцессов и их отработка нашим персоналом.

Оставьте заявку и получите расчет стоимости изготовления

Проектирование конструкции или работа по чертежам заказчика

Малые сроки изготовления и гибкие условия сотрудничества

Консультации опытных специалистов на всех этапах работы

Работы осуществляются на основе ТЗ, готовой конструкторской документации, черновых эскизов или концептуальных требований. Наш конструкторский отдел готов разработать полный комплект КД и после согласования заказчика запустить оборудование в производство. Оставьте заявку с помощью специальной формы или свяжитесь с нами любым удобным Вам способом и наши специалисты подготовят для Вас оптимальное предложение.

ИЗГОТОВЛЕНИЕ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК

Обрабатывающие вакуумные системы:

  • системы плазмо-химического травления

  • установки вакуумного отжига

  • аппараты лиофильной сушки

  • испытательные системы

Установки вакуумного напыления:

  • установки магнетронного напыления

  • установки электронно-лучевого испарения

  • установки термического испарения

Предоставляем услуги разработки и изготовления нестандартных вакуумных установок от экспериментальных лабораторных стендов до высокопроизводительных промышленных систем. Имея большой опыт производства установок и создания готовой продукции на различных вакуумных системах мы готовы предложить разработку как узкоспециализированных установок, так и многофункциональных систем комбинирующих различные методы нанесения покрытий и обработки подложек. Изготавливаемое оборудование перед поставкой проходит полный цикл отработки заданных технологических процессов. Наш опыт изготовления вакуумных установок позволяет добиться максимальной эффективности создаваемого оборудования, а наличие надежных поставщиков стандартных компонентов – высокую скорость изготовления и привлекательную стоимость.

Изготовление вакуумных установок

Возможна комплектация установок оборудованием нашего собственного производства:

Фон Плазмохимическое травление

Функциональные устройства:

  • магнетроны

  • источники ионов

  • модули ионной чистки

Дополнительное оснащение:

  • система оптического контроля толщины покрытий

  • система нагрева подложек в вакууме

Если Ваш бюджет на новое оборудование существенно ограничен – наши специалисты постараются оптимизировать конструкцию установки, оставив только действительно необходимые элементы. При заказе оборудования для нестандартных техпроцессов возможно проведение работ по предварительной отработке технологии на нашем оборудовании, с предоставлением технического заключения, образцов и наших рекомендаций.

Свяжитесь с нами и мы подготовим оптимальное предложение

Создание проекта и консультации профессионалов

Разработка технологических процессов

Автоматизация работы оборудования

Пуско-наладка и обучение персонала

Сопровождение в процессе эксплуатации

Специалисты лаборатории вакуумного оборудования готовы предоставить консультации по процессам и типам оборудования, наиболее подходящим для реализации требуемых техпроцессов. Наш опыт позволяет добиться высокой эффективности разрабатываемого оборудования во время эксплуатации при минимальных затратах. При необходимости предоставляем услуги модернизации оборудования других производителей и разработку техпроцессов.

Модернизация вакуумного оборудования

МОДЕРНИЗАЦИЯ ВАКУУМНОГО ОБОРУДОВАНИЯ

Лаборатория вакуумного оборудования предоставляет услуги модернизации вакуумных установок с целью восстановления и улучшения их рабочих характеристик. Самым ценным элементом вакуумной системы является вакуумная камера, стоимость которой может превышать половину всех расходов при создании новой установки. Обычно, модернизация установки, проводимая нашими специалистами, включает в себя полную замену комплектующих, с комплексом работ по восстановлению характеристик вакуумной камеры.

Модернизация откачной системы:

  • замена вакуумных насосов, установка бустерного насоса, возможно создание системы безмасляной откачки типа "сухой вакуум"

  • дефектовка вакуумной камеры (шлифовка и полировка, устранение течей)

  • полная замена вакуумной арматуры (клапана, затворы переходники, сильфоны и т.п.)

  • замена вводов вращения и резинотехнических изделий

Модернизация элементной базы:

  • полная замена электротехнических изделий

  • изготовление современного модуля управления установкой

  • разработка и наладка системы автоматизированного управления процессами

  • установка современных вакуумметров и датчиков вакуума

  • оснащение современными источниками питания функциональных устройств

Функциональная модернизация:

  • замена функциональных компонентов: магнетроны, источники ионов, электронно-лучевая пушка и т.п.

  • установка рубашки охлаждения, нагревательной системы, оснастки вращения подложек, освещения и др.

  • внесение глубоких изменений в конструкцию вакуумной камеры

  • изменение функционального назначения установки

Сообщите нам о вакуумной установке модернизацию (восстановление) которой Вы хотите провести и наши специалисты проконсультируют Вас о особенностях работ, сообщат свои рекомендации и подготовят коммерческое предложение.

НАШИ ПРЕИМУЩЕСТВА

Собственный производственный центр

Высокое качество продукции и гарантия

Опыт работы с нестандартными проектами

Услуги наладки техпроцессов и обучения

Коллектив высококлассных специалистов

bottom of page