ИЗГОТОВЛЕНИЕ МАГНЕТРОНОВ И ИСТОЧНИКОВ ИОНОВ

Изготовление магнетронных распылительных систем и ионных источников для обработки поверхности подложек. Разработка кольцевых, цилиндрических и планарных магнетронов под мишени любых размеров на заказ.

Производство магнетронов как внутрикамерного исполнения, так и внешнего (крепление к отверстию/фланцу камеры).

В наших магнетронных распылительных устройствах возможно использование:

  • способ крепления мишени на усмотрение заказчика;

  • прямое или косвенное охлаждение мишени;

  • устройства с несколькими зонами эрозии мишени;

  • системы распределения рабочих газов;

  • работа в импульсном режиме и режиме постоянного тока;

  • поддержка режимов напыления при давлениях от 1·10⁻⁴ до 8·10⁻³ Торр.

Вы можете заказать магнетрон нужной конфигурации, ионный источник, а также готовую вакуумную систему или камеру для нанесения покрытий методом магнетронного распыления.

Мы имеем собственную производственную базу, а также парк испытательного оборудования и готовы предложить цену ниже конкурентов. Наши специалисты имеют высокую квалификацию и найдут наилучшие решения для Ваших задач.

Оставьте заявку или свяжитесь с нами по указанным контактам и мы подготовим для Вас оптимальное предложение.