ИЗГОТОВЛЕНИЕ МАГНЕТРОНОВ И ИСТОЧНИКОВ ИОНОВ

Изготовление магнетронных распылительных систем и ионных источников для обработки поверхности подложек. Разработка кольцевых, цилиндрических и планарных магнетронов под мишени любых размеров на заказ.

Производство магнетронов как внутрикамерного исполнения, так и внешнего (крепление к отверстию/фланцу камеры).

В наших магнетронных распылительных устройствах возможно использование:

  • способ крепления мишени на усмотрение заказчика;

  • прямое или косвенное охлаждение мишени;

  • устройства с несколькими зонами эрозии мишени;

  • системы распределения рабочих газов;

  • работа в импульсном режиме и режиме постоянного тока;

  • поддержка режимов напыления при давлениях от 1·10⁻⁴ до 8·10⁻³ Торр.

Вы можете заказать магнетрон нужной конфигурации, ионный источник, а также готовую вакуумную систему или камеру для нанесения покрытий методом магнетронного распыления.

Мы имеем собственную производственную базу, а также парк испытательного оборудования и готовы предложить цену ниже конкурентов. Наши специалисты имеют высокую квалификацию и найдут наилучшие решения для Ваших задач.

Оставьте заявку или свяжитесь с нами по указанным контактам и мы подготовим для Вас оптимальное предложение.

Источник ионов
Источник ионов

press to zoom
Сбалансированный цилиндрический магнетрон для распыления мишеней диаметром 160 мм
Сбалансированный цилиндрический магнетрон для распыления мишеней диаметром 160 мм

press to zoom
Визуализация расчета магнитного поля магнетрона
Визуализация расчета магнитного поля магнетрона

press to zoom
Источник ионов
Источник ионов

press to zoom
1/5